干式真空泵主要用途
1、半导体:芯片生产、刻蚀、离子注入、PECVD、 PVD镀膜；
2、平板显示器:液晶灌注、PVD真空镀膜、离子刻蚀；
3、LED:刻蚀、PECVD、 电子束蒸镀、磁控溅射、蓝宝石炉；
4、太阳能电池制造领域: PECVD、 层压机、刻蚀、单晶炉；
5、石油化工:油汽回收、真空蒸馏、溶剂回收；
6、制药:溶剂萃取、溶媒回收、真空干燥、真空浓缩7、食品:真空干燥、真空包装。
干式真空泵产品特点
1产品安全可靠，符合CE及SEMI认证；
2产品性能稳定、可靠性高；
3产品运行、维护成本低；
4产品工艺适应性广；
5产品具备智能控制模式，可提供多种应用扩展。