管是纯化器-50slpm|管是纯化器-50slpm管是纯化器-50slpm|管是纯化器-50slpm HPC-Q8/Q9-50系列管式纯化器（POU）采用常温技术，通过化学吸附和物理吸附结合方式，将工艺气体中的O2、H2O、CO2、CO、H2、NMHC等杂质脱除到1ppb以下。考虑到使用灵活性，除了基于流量的外形外，还可以选择配制隔离阀门和内置0.003微米的过滤器。性能参数：Max Pressure/可承受压力150 psig(可选高压)Max Temperature/可承受温度60°CTubing/管材316L不锈钢，EPManufacturing/制造环境100级洁净室应用领域：半导体大宗气体纯化高纯气体管道工程和气柜高纯气体分析焊接气体净化粒子过滤器在工具上进行净化和过滤用于低流量工艺的特殊气体净化分析零气体应用干式清洗用于施工阶段管道认证金属光纤化学汽相淀积周围性血管疾病光刻。管是纯化器-50slpm|管是纯化器-50slpm